微纳电子技术期刊年发文量：:2017年151篇，2018年144篇，2019年154篇，2020年156篇，2021年161篇，2022年187篇，2023年241篇，2024年237篇，2025年184篇，2026年28篇

期刊历年基金文献和总文献占比：2017年80.13%，2018年78.47%，2019年82.47%，2020年83.33%，2021年81.37%，2022年86.63%，2023年84.23%，2024年67.93%，2025年60.33%，2026年60.71%

文献所在栏目：加工、测量与设备MEMS与传感器材料与结构技术论坛器件与技术“高可靠陶瓷封装技术”专题EMS与传感器加工、测量与传感器

杂志文献学科分布：无线电电子学, 材料科学, 自动化技术, 电力工业, 工业通用技术及设备, 无机化工, 物理学, 化学, 有机化工, 仪器仪表工业, 机械工业, 电信技术, 生物学, 环境科学与资源利用, 生物医学工程, 计算机软件及计算机应用, 金属学及金属工艺, 航空航天科学与工程, 计算机硬件技术, 工业经济

杂志关键词分布：微电子机械系统(MEMS),复合材料,摩擦纳米发电机(TENG),纳米材料,微流控芯片,气体传感器,超级电容器,化学机械抛光(CMP),传感器,水热法,石墨烯,灵敏度,柔性材料,压力传感器,聚二甲基硅氧烷(PDMS),金刚石,电极材料,磁控溅射,柔性传感器,微机电系统(MEMS)

微纳电子技术杂志影响因子走势：0.21,0.25,0.22,0.28,0.35,0.32,0.43,0.42,0.43,0.44,